射频磁控溅射中杂散磁场对NiCo薄膜各向异性的影响

来源 :第十届全国磁学和磁性材料会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xi00xi

【摘要】

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该文报道了在射频磁控溅中靶基内的磁体所产生的杂散磁场对沉积的NiCo单层膜的面内各向异性的影响，发现该杂散磁场对较薄的NiCo单层膜衣导出感生各向异性。

【作者】

：

龙建国潘明虎陈景杜军胡安鹿牧

【机构】

：

南京大学物理系

【出处】

：

第十届全国磁学和磁性材料会议

【发表日期】

：

1999年12期

【关键词】

：

NiCo 金属薄膜各向异性磁控溅射坡莫合金

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该文报道了在射频磁控溅中靶基内的磁体所产生的杂散磁场对沉积的Ni<,80>Co<,20>单层膜的面内各向异性的影响，发现该杂散磁场对较薄的Ni<,80>Co<,20>单层膜衣导出感生各向异性。

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