【摘 要】
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用磁控溅射的方法在无机玻璃基底上制备了AZO透明导电膜.研究了溅射过程中氧气及氢气流量对AZO薄膜的光学和电学性能的影响,结果表明:当氧气流量为0.5sccm,氩气流量为190sccm
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院,北京 10024
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用磁控溅射的方法在无机玻璃基底上制备了AZO透明导电膜.研究了溅射过程中氧气及氢气流量对AZO薄膜的光学和电学性能的影响,结果表明:当氧气流量为0.5sccm,氩气流量为190sccm时,薄膜在玻璃表面的结晶度良好,并且能得到较低的电阻率和可见光谱范围内平均透过率大于80％的光电性能优良的AZO薄膜.
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