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介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显.因此可以加较高的聚焦磁场,从而获得流强较高和较稳定的沉积离子束.
阴极真实弧沉积中第二阳极现象研究
【摘 要】
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介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴
【机 构】
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北京师范大学测试中心(北京),北京师范大学低能核物理研究所(北京)
【出 处】
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'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
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2001年期
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