大束流相关论文
在辐照交联电线电缆产业及热缩产品辐照产业迅猛发展,束下生产线设备技术有新突破的现今市场,相关企业对中能电子加速器的束功和束......
本文介绍正在研制的一台强流ECR离子源.它的目标是用于加速器驱动的次临界系统(ADS).两种结构的离子源均获得了较好的结果.在30keV......
本文介绍正在研制的强流微波离子源.它的目标是用于加速器驱动的次临界系统(ADS).研制的两种结构的离子源均获得了较好的结果.在30......
利用宽束和大束流的新型Metal Vapor Vacuum Arc(MEVVA)离子源,在平均衬底温度低于400℃的条件下在Si衬底中制备出立方相结构的SiC埋层。依据IR吸收谱的测量,发现埋层中......
利用多弧离子镀技术制备的TiN等各种硬质膜已经广泛应用于各种工模具表面强化[1 ] 。硬质膜质量的提高主要依赖于多弧离子镀膜机的技......
能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染,产生的原因及降低能......