【摘 要】
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降低太阳电池的表面反射率是提高太阳电池效率的主要途径之一.采用激光织构制作倒金字塔结构,可有效降低硅表面的反射率,同时适用于单晶硅和多晶硅材料.激光织构倒金字塔包括
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,100083
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降低太阳电池的表面反射率是提高太阳电池效率的主要途径之一.采用激光织构制作倒金字塔结构,可有效降低硅表面的反射率,同时适用于单晶硅和多晶硅材料.激光织构倒金字塔包括激光刻槽与快速去损伤两步,制作的倒金字塔结构尺寸均匀,覆盖率高,与现有单晶硅太阳电池工艺兼容.研究了不同脉冲参数以及激光刻槽方式对倒金字塔形貌结构以及表面反射率的影响.结果表明,优化的激光织构能够获得尺寸均匀、覆盖率高、表面反射率低的倒金字塔结构.
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