【摘 要】
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我们介绍一下康宁股份有限公司制造玻璃基板的简明历史,这种玻璃基板用于有源矩阵液晶显示器。对AMLCD玻璃基板最基本的属性要求包括热稳定性、机械稳定性、精确的尺寸控制、
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我们介绍一下康宁股份有限公司制造玻璃基板的简明历史,这种玻璃基板用于有源矩阵液晶显示器。对AMLCD玻璃基板最基本的属性要求包括热稳定性、机械稳定性、精确的尺寸控制、近乎完美光滑的基板表面,在最终显示时没有因太大的夹杂物而遮挡住像素点。此外,作为基板材料的玻璃从本质上必须不含碱金属,这样才不会和TFT产生化学的或者电子的相互作用。康宁公司通过slot-draw(流孔下引技术)过程第一次把精密板材制造出来,但最终的工艺是fusion-draw(熔融溢流技术),这两个方法原本都不是为这个应用而发明的。无碱玻璃最初是为电子应用设备和灯管而研制的,而发明一种新的组分来兼容高粘度的fusion-draw过程被相当多的课题所需要。不断发展的行业需求提出了新的技术要求,这一变革提供了很多例子,包括基板玻璃的脱砷,减少多晶硅TFT在高温工艺过程中的尺寸变化问题。
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