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频率跟踪足超声波清洗电源的一个非常重要的特性。针对超声清洗过程中超声换能器谐振频率发生漂移的问题，本文设计了一种由D触发器、单片机、数字电位器和压控振荡器组成的频率跟踪系统。该系统利用单片机检测超声清洗电源负载的电压、电流的相位差，并通过数字电位器来改变压控振荡器的输出频率。与其它频率跟踪方法相比，该系统降低了程序编写的复杂性，电路简单且易于实现。