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基于有效质量的载流子浓度修正计算了电离杂质散射对ITO薄膜电学极限的贡献.研究表明,修正后的电离杂质散射机制界定了ITO薄膜载流子迁移率的上限和电阻率的下限.
关于透明导电ITO薄膜的电学极值问题的研究
【摘 要】
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基于有效质量的载流子浓度修正计算了电离杂质散射对ITO薄膜电学极限的贡献.研究表明,修正后的电离杂质散射机制界定了ITO薄膜载流子迁移率的上限和电阻率的下限.
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室,上海,200050
【出 处】
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上海市真空学会第七届学术年会
【发表日期】
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2000年期
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