SOI光波导器件的研究进展与发展趋势

来源 :第十三届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong592
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  本文报导我们团队在SOI 光波导器件的最新研究进展。我们在同时兼顾电学特性和光学特性的基础上,创新地提出矩型和Z字型的插趾电极结构,使载流子注入和光场两者的区域尽可能地重合,大大降低了载流子的飘移时间和和器件的分布电容,并减少了光损耗,因而大大地提高了调制速率和缩短了开关时间。我们同时研究了MZI(马赫-曾德干涉)型和MRR(微环谐振)型两大类SOI 光调制器和光开关,成功地研制出44 Gpbs 的高速率SOI MZI 和MRR 光调制器和百ps 量级光开关、耦合效率高达65%的微纳光耦合器、4×25Gpbs 光调制器陈列、InGaAS 光电二极管同SOI 光调制器的混合集成回路。
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