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扩散硅压力传感器温度补偿用交叉布线厚膜温度网络器件
【机 构】
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工业部沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1995年期
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