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自支撑金刚石厚膜兼金刚石最高的弹性刚度系数以及最高声速等优异性能，是SAW滤波器合理的基片材料，避免了其它基片散热差的问题。
改变衬底温度对氮化镓薄膜的性能研究
【摘 要】
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自支撑金刚石厚膜兼金刚石最高的弹性刚度系数以及最高声速等优异性能，是SAW滤波器合理的基片材料，避免了其它基片散热差的问题。
【机 构】
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沈阳工程学院 新能源学院;大连理工大学三束教育部重点实验室 沈阳工程学院 新能源学院
【出 处】
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第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2016年5期
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