掺杂In2O3对ZnO多孔厚膜气敏传感器性能的影响

来源 :2006年全国博士生学术论坛——材料科学分论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaojian1990
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本文以ZnO纳米粉和In2O3纳米粉为原料,利用水热热压方法制备了纯ZnO多孔纳米固体及掺杂不同含量In2O3的ZnO多孔纳米同体,利用传统的厚膜气敏传感器制备工艺,制备了纯ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器及5种掺杂不同含量In2O3的ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器,并且分别测试了这6种传感器的本征电阻(传感器在空气中的电阻值)及其对乙醇,丙酮,苯,甲醛蒸气和汽油的敏感特性。结果表明,当工作温度在室温附近时,In2O3的掺杂可明显降低ZnO传感器的本征电阻,且适量In2O3的掺杂可以提高ZnO传感器对乙醇蒸气和汽油的灵敏度。
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