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本文采用MEMS技术研制了一种以硅材料为基底,具有MEMS结构的NO2传感器,敏感材料选用金属酞菁化合物-酞菁锌.阐述了该传感器的工作原理、结构设计和工艺流程.给出了酞菁锌薄膜的制备方法.通过分析测试了该传感器的特性,并讨论了酞菁锌的敏感机理.
MEMS结构NO2传感器的研究
【摘 要】
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本文采用MEMS技术研制了一种以硅材料为基底,具有MEMS结构的NO2传感器,敏感材料选用金属酞菁化合物-酞菁锌.阐述了该传感器的工作原理、结构设计和工艺流程.给出了酞菁锌薄膜的制备方法.通过分析测试了该传感器的特性,并讨论了酞菁锌的敏感机理.
【机 构】
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黑龙江大学,集成电路重点实验室,哈尔滨,150080 黑龙江大学,功能材料实验室,哈尔滨,1500
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2005年1期
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