【摘 要】
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本文介绍了一种以智能材料即电致动聚合物驱动的,以SU-8为基体的极具应用潜力的新型无阀微泵.一方面介绍了以电场型电致动聚合物——介电弹性体(Dielectric Elastomer,DE)为
【机 构】
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西安电子工程研究所 陕西西安710100
【出 处】
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2010微制造技术及数字化工艺学术研讨会
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本文介绍了一种以智能材料即电致动聚合物驱动的,以SU-8为基体的极具应用潜力的新型无阀微泵.一方面介绍了以电场型电致动聚合物——介电弹性体(Dielectric Elastomer,DE)为驱动材料时的电致动性能及在交流电压和直流脉动电压驱动下,分别研究了该材料对不同电压波形、幅值和频率的位移响应情况,并通过实验研究了以上各因素对DE致动器致动位移的影响以及材料的预拉伸倍数对其驱动性能的影响;另一方面介绍了基于DE驱动的、以生物兼容性材料SU-8为基体的无阀微泵的结构、制作及性能.提出一种以DE驱动的平面扩散/收缩管无阀微泵,用UV-LIGA工艺制作了无阀微泵的腔体,通过封装制作成无阀微泵.最后对无阀微泵的流动性能进行测试,得到了泵膜振幅、频率以及流量之间的关系.当驱动电压为正弦直流脉动电压,其幅值为3500V、频率为8Hz时,无阀微泵的流量达到最大,为21.2μL/min.
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