【摘 要】
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利用Nd:YAG固体脉冲激光沉积(PLD)技术在氧气氛围下于α-AlO(0001)基片上制备出纳米金刚石(NCD)薄膜.借助扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和Raman光谱分析了薄膜的形貌和结构随沉积时衬底温度的变化.结果表明:在衬底温度为550℃时,所制备的薄膜均匀、光滑.对薄膜的生长机理作出了分析.
【机 构】
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湘潭大学材料与光电物理学院(湘潭)
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利用Nd:YAG固体脉冲激光沉积(PLD)技术在氧气氛围下于α-Al<,2>O<,3>(0001)基片上制备出纳米金刚石(NCD)薄膜.借助扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和Raman光谱分析了薄膜的形貌和结构随沉积时衬底温度的变化.结果表明:在衬底温度为550℃时,所制备的薄膜均匀、光滑.对薄膜的生长机理作出了分析.
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