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对目前超高纯钛主要的几种工业化生产方法—一克劳尔法、碘化物热分解法以及熔盐电解法进行了综述,分别阐述了各自实现方式以及特点;重点介绍了超高纯钛在电子材料领域的广泛市场与应用,指出中国半导体用溅射靶材产业对国产超高纯钛的迫切需求以及未来超高纯钛工业生产的发展方向.
超高纯钛的工业化生产与其在溅射靶材领域的应用
【摘 要】
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对目前超高纯钛主要的几种工业化生产方法—一克劳尔法、碘化物热分解法以及熔盐电解法进行了综述,分别阐述了各自实现方式以及特点;重点介绍了超高纯钛在电子材料领域的广泛市场与应用,指出中国半导体用溅射靶材产业对国产超高纯钛的迫切需求以及未来超高纯钛工业生产的发展方向.
【机 构】
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宁波创润新材料有限公司,浙江余姚315460
【出 处】
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第十六届全国钛及钛合金学术交流会
【发表日期】
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2016年12期
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