【摘 要】
：
本文在大量的实验结果基础上,给出了KOH自停止工艺的优化参数.利用KOH自停止腐蚀技术,我们制备了微悬梁,薄膜,薄膜光栅,加速度计等结构,并获得了较满意的均匀性.对Si平面薄膜的测量表明:在1000μm内的扫描范围内,Si平面薄膜的B扩面和腐蚀面的表面粗糙度分别在50nm和22nm左右;SEM测量显示,Si薄的颗粒尺寸在纳米量级.
【机 构】
：
中科院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室(上海) 浙江大学信电系(杭州)
论文部分内容阅读
本文在大量的实验结果基础上,给出了KOH自停止工艺的优化参数.利用KOH自停止腐蚀技术,我们制备了微悬梁,薄膜,薄膜光栅,加速度计等结构,并获得了较满意的均匀性.对Si平面薄膜的测量表明:在1000μm内的扫描范围内,Si平面薄膜的B扩面和腐蚀面的表面粗糙度分别在50nm和22nm左右;SEM测量显示,Si薄的颗粒尺寸在纳米量级.
其他文献
应用面向对象的方法,将人工智能中的推理策略进行对象化,提出了统一的推理策略模型,目的是提高推理策略的应用范围和代码的重用性,降低推理策略维护的复杂度.此外在推理过程中加入操作阈值的概念和策略搜索的思想,对推理步数进行控制,对缓解时间复杂度和真值解精确度的矛盾问题上做了一些尝试.
互联网飞速发展的同时,由不良信息引起的互联网内容安全问题越来越引起人们的关注.对面向互联网的内容安全的研究进行了综述,分别从研究主题和支撑技术两个侧面讨论了目前用于内容安全的应用领域、路线方法和研究进展,并对今后的研究进行了展望.希望本文能对内容安全技术和系统的研究开发提供参考.
尝试使用Petri网进行简单的手语词汇识别.采用模板匹配方法检测到一系列简单的手势,如:手掌张开直立、握拳、伸出大小拇指.其中每个简单手势的发生对应于Petri网中的一个变迁.待识别的手语词汇是由一串特定的手势序列构成的,如:手掌张开直立-握拳-伸出大小拇指.通过Petri网记录手势的动态变化,并在每次新变迁发生时检测目标库所的标志增加情况,从而实现特定手语词汇的识别.
探讨了一种基于构件技术的信息系统的开发方法,详细论述了构件设计的思想,给出了基于构件技术的信息系统的开发模型和开发的具体步骤,并据此模型设计实现了消防文书管理子系统,证明了利用构件技术开发信息系统是高质、高效的.
通过试验表明支持向量机比K-最邻近法具有更好的分类能力,而且不同特征选择方法对支持向量机的影响要小于K-最邻近法.通过对支持向量机的特征的选择实验,表明一般应用CHI统计进行特征选择的分类精度最高.上述结果可帮助人们认识和正确使用支持向量机进行文本分类.
在介绍传感器网络和移动代理概念及其技术特点的基础上,阐述了两者相结合的技术潜力,并参照美军提出的基于两者的信息融合系统,提出了一种基于移动代理的传感器网络数据管理系统,分析了该系统的特点,展望了该系统的应用及实现前景.
Web服务是一些较为松散耦合的软件组件,可以通过Web来发布,定位和调用.如何在实际应用中快速发现用户所期望的服务成了摆在人们面前的一个重要课题.目前广泛应用的集中式Web服务发现体系结构不仅带来了一些安全性问题,而且限制了Web服务的缩放性和效率.设计了一个基于混合式P2P的语义Web服务的发现模型,不仅解决了集中式Web服务发现体系结构所带来的各种问题,而且使计算机能够理解数据的某些语义信息,
微机械热对流加速度计不需检验质量块,结构简单,制作工艺与IC工艺兼容,可批量制备,体积小,量程大,耐冲击.文章介绍了微机械热对流加速度计的工作原理、结构设计,制作工艺和取得的结果.测试表明:所研制的微机械热对流加速度计灵敏度为0.1v/g,分辨率可达1mg,量程>75g,工作带宽50Hz.通过改进设计和进行频率补偿,加速度计带宽可达1KHz.两轴微机械热对流加速度计已经设计出来,目前正在进行工艺制
本文介绍了采用键合-背面腐蚀的方法制备SOI材料(BESOI),硅膜的厚度为8μm,绝缘层SiO厚1.3μm,用于集成光波导器件和功率分配器的研制.
本文利用有限元方法对SMA/Si复合驱动膜的温度场进行了仿真研究.研究表明,在周期性加热情况下,在驱动膜稳定工作后,Si框的温度会稳定在一个与膜内温度相当的较高值,而驱动膜内各处温度则在一固定的范围内随电脉冲周期振荡,各处振荡的幅度差别很大,中心温度的振幅最大.在驱动膜内存在较大的温度梯度,在膜框结合处附近的温度梯度最大.