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本文介绍了采用键合-背面腐蚀的方法制备SOI材料(BESOI),硅膜的厚度为8μm,绝缘层SiO厚1.3μm,用于集成光波导器件和功率分配器的......
本文在现有PZT铁电薄膜的制备工艺基础上,提出了集成在同一芯片上的基于PZT铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器的结构,并对其灵敏度......
该文的目的是为高灵敏度、集成化的微麦克风和扬声器的核心结构－PZT悬臂式振膜的实现奠定基础。利用锆钛酸铅(PZT)铁电体具有的优良......
集成光学系统是实现高速信息处理和传输的重要技术，实现非互易光学材料和器件的片上集成是这一领域的一大难题。本报告将介绍硅......
汽车胎压监视系统(TPMS)是一个能对汽车轮胎气压进行自动检测,并对轮胎漏气和低气压进行报警的预警系统。以Motorola芯片为基础的......
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
设计制造并测试了一种单片集成电路温度传感器,其工作温度范围为-55℃～150℃这种三端集成电路与一个外电阻一起,构成一个不受温度影......
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