【摘 要】
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本文采用2.45GHz的微波馈入实现了以氢气为载气的氢等离子体,在三电极引出系统下获得了50Kev,50mA的强流脉冲离子束.用CST仿真软件和PBGUNS分别模拟计算了匹配波导阻抗值和引出束流；用2D-Poisson软件计算并分析了放电室内ECR面分布状况,且研究了离子源轴向磁场的变化对引出束流强度的影响.
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所 兰州 730000 Institute of Modern Physic
【出 处】
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2012全国荷电粒子源、粒子束学术会议
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本文采用2.45GHz的微波馈入实现了以氢气为载气的氢等离子体,在三电极引出系统下获得了50Kev,50mA的强流脉冲离子束.用CST仿真软件和PBGUNS分别模拟计算了匹配波导阻抗值和引出束流；用2D-Poisson软件计算并分析了放电室内ECR面分布状况,且研究了离子源轴向磁场的变化对引出束流强度的影响.
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