研究了高功率激光装置光传输管道内部洁净度变化规律，分析了其对内部重要光学表面光学性能的影响规律，提出污染控制措施。采用专门的空气品质分析仪及SEM在一定时间内对光传输管道内部的气溶胶进行采样及成分分析，得到光传输管道内部洁净度变化规律；采用内部放置透射膜的方法，研究洁净度等级水平对透射膜的微观结构和透过率的影响，并利用“1-on-1”的测试方式进行透射膜元件的损伤阈值测试。研究结果表明：光传输管道内部的洁净度在激光辐照后迅速上升至十万级水平，透射膜元件在此环境下，其透过率严重下降，并且表面微观形貌发生变化。光学透射薄膜表面损伤阈值随表面污染水平呈现线性下降规律。污染监测和成分分析结果表明管道内灰尘及杂散光或鬼光束辐照金属管壁产生的金属等离子体是管道内污染的主要源头，在此基础上提出了密封正压保持的技术手段确保内部光学表面洁净度水平，延长使用寿命。