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四极质谱计是一种分压力测量仪器,其线性上限一般为10<-3>Pa。本文通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析,得到高压力下的分压力计算方法,并通过实验验证了该方法的可行性,得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。
四极质谱计在高压力下的测量方法
【摘 要】
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四极质谱计是一种分压力测量仪器,其线性上限一般为10Pa。本文通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析,得到高压力下的分压力计算方法,并通过实验验证了该方法的可行性,得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。
【机 构】
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兰州物理研究所,甘肃兰州 730000
【出 处】
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第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会
【发表日期】
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2007年8期
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