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本文首先应用声流的基本理论，建立起基于MEMS技术制造的微流体装置的一维解析模型，分析了声场对微管道内流体运动的影响，并利用有限元分析软件ANSYS对超声波激励的微管道进行流体-结构耦合场数值分析，得到微管道内声压、频率以及流场的速度和驱动力分布的结果。
超声波激励微管道内的流场研究
【摘 要】
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本文首先应用声流的基本理论，建立起基于MEMS技术制造的微流体装置的一维解析模型，分析了声场对微管道内流体运动的影响，并利用有限元分析软件ANSYS对超声波激励的微管道进行流
【机 构】
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厦门大学萨本栋微机电研究中心361005
【出 处】
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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
【发表日期】
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2006年12期
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