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本文使用硅质微小球粘至无针尖微悬臂梁制作球形探针,并使用球形探针微悬臂梁模型计算模拟了轻敲模式下原子力显微镜工作时,针尖-样品距离极小（微米级）的情况下,针尖和样品之间压膜阻尼的作用,通过探针扫频实验数据及其他数值结果的比较发现,该计算模型能较好地符合实验结果,从而解释该实验过程中能量耗散机理。