【摘 要】
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面向半导体生产线中各加工区产能预测以及系统和设备性能优化的需求,基于Em-Plant仿真软件和vs.net平台开发实现了半导体生产线仿真系统。该系统由用户层、模型层和数据层三
【机 构】
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同济大学 CIMS研究中心,上海 201804
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面向半导体生产线中各加工区产能预测以及系统和设备性能优化的需求,基于Em-Plant仿真软件和vs.net平台开发实现了半导体生产线仿真系统。该系统由用户层、模型层和数据层三大部分构成,通过运行该系统,可以提供给用户未来一段时间内的加工区产能预测,为控制与调度决策提供依据。目前,该系统已经在实际半导体生产线上得到运用。
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