【摘 要】
:
It investigates the optical and electronic properties of Al doped on GZO thin films on glass substrates by using radio frequency magnetron sputtering(RF-sputtering).The electric,optical and structural
【机 构】
:
Department of Resources Engineering,National Cheng Kung University,Tainan,Taiwan
【出 处】
:
第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
论文部分内容阅读
It investigates the optical and electronic properties of Al doped on GZO thin films on glass substrates by using radio frequency magnetron sputtering(RF-sputtering).The electric,optical and structural characteristics of AGZO thin films with various annealing temperatures are investigated.All films illustrate strong(002)for AGZO preferential orientation by using XRD analysis.The results show that the average transmittance of AGZO thin films is increased with annealing temperature.Furthermore,the resistivity also decreased with annealing temperature.
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