【摘 要】
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用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×l0~(17)cm~(-2)的N_(10)~+团簇离子注入Si(lll)单晶表面的形貌。发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室成都610064
【出 处】
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全国第九次释光与电子自旋共振测定年代学术讨论会
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用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×l0~(17)cm~(-2)的N_(10)~+团簇离子注入Si(lll)单晶表面的形貌。发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳米晶结构,并测量了形成晶粒的尺度及分布。用红外吸收实验检测了该实样的光学特性。实验表明,该试样对频带很宽的红外光产生了很强的均匀吸收,在红外光区,其透光度均保持在lO％.左右,表明其注入层已形成一种品质优良的吸光材料。
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