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用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×10cm-2的N团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌。发现在此条件下,注入层已直接转......
用椭偏仪、傅氏变换红外吸收谱(FT-IR)、X射线光电子能谱(XPS)以及原子力显微镜(AFM)对N+1，N+2，N+10离子高剂量(1.7×1017 ions/cm2)......
