【摘 要】
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高真空镀膜设备真空系统设计介绍了高真空镀膜系统真空系统的设计。真空系统配置了完整的抽气系统和真空测量系统。文章通过对几种真空室结构进行了比较,结合实际情况选择了
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高真空镀膜设备真空系统设计介绍了高真空镀膜系统真空系统的设计。真空系统配置了完整的抽气系统和真空测量系统。文章通过对几种真空室结构进行了比较,结合实际情况选择了适用于本系统的结构。真空测量系统能够对真空系统从大气压到系统的极限真空(10-5Pa)进行全程测量。高真空镀膜设备在镀膜的过程中,能够测量工件温度、薄膜厚度,同时也能够对工件进行冷却、烘烤、清洗,使薄膜与基体结合更好、质量更高、厚度控制更精确。在设计中作者充分考虑了设备可维护性、可靠性和性价比,有很大的实用价值,可在生产、科研中推广。
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