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氮化铝主要有六方纤锌矿和四方闪锌矿两种晶型,为了研究不同晶型氮化铝真空热分解反应机理,对该反应进行真空条件下热力学计算,结果表明反应在1923K～2073K,60Pa 的条件下可以进行。利用基于密度泛函(DFT)框架下的第一性原理平面波赝势法,对两种不同晶型氮化铝真空热分解反应在1923K～2073K,60Pa 的条件下分别进行了10ps 动力学模拟,并对模拟得到两种晶型的AlN 的结构、分波态密度和差分电荷密度进行对比分析。模拟结果表明,六方纤锌矿型的AlN 部分Al-N 键发生断裂,且有单质Al 和Al-Al 键的生成；而四方闪锌矿型的AlN 的Al-N 键结构变化不明显,没有发生断键现象,说明六方纤锌矿型AlN 要更易分解。