【摘 要】
:
同步移相干涉测试技术是目前抗振效果最好的干涉测量手段,目前大多数同步移相方案采用了泰曼型结构形式,而斐索型干涉仪由于其共光路的特点,适用于检测平面元件。目前已有的几种
论文部分内容阅读
同步移相干涉测试技术是目前抗振效果最好的干涉测量手段,目前大多数同步移相方案采用了泰曼型结构形式,而斐索型干涉仪由于其共光路的特点,适用于检测平面元件。目前已有的几种斐索型结构都不适合于长干涉腔长下的平面元件的测试,针对长干涉腔长的测试需求,提出一种新的同步移相干涉测试方案。以斐索型移相干涉仪的结构为基础,采用四分之一波片作为参考镜,得到一对正交偏振光。正交偏振光经过棋盘相位光栅后形成不同衍射级次的光线,(±1,±1)级衍射光的衍射效率相同,通过特制的光阑选取这四束光线,使这四束光线先后通过相位延迟阵列和偏振片获得4幅移相量依次为π/2的干涉图。 运用琼斯矩阵分析了基于四分之一波片的斐索型同步移相方案的原理。从干涉系统、分光系统、移相系统和数据采集系统几个方面设计与研制了该方案的关键器件并搭建了实验装置。对平面元件进行了测量,将波面测量结果与ZYGO干涉仪的测量结果比较,得到面形的峰谷值相差0.004λ,均方根误差值相差0.001λ。 详细讨论了各个元器件所带来的误差,主要针对四分之一波片的移相量误差、快轴位置误差、偏振片方位角误差、相位延迟阵列的移相误差进行了讨论,得出整个装置的系统误差为λ/10。该方案相比泰曼型同步移相干涉测量方案可以简化系统结构,减小系统误差,并且更易装校,适合用于长干涉腔长下平面元件的测量,并且能有效减小干涉测量中振动带来的影响。
其他文献
关于空间插值,常用方法有趋势面法、克里格插值法等.关于PM2.5的预测模型,目前主要有数值模型和统计模型两种.为此,本文研究以中西部重工业城市郑州市为研究对象,利用统计学
小行星们的自转速度各不相同,而且会时时发生变化,这有点出乎意料,因为行星和恒星的自转速度一般是比较恒定的,不会有明显的变化.更让人出乎意料的是,小行星们的自转速度不断
超分辨荧光波动显微技术(Super-resolution Optical Fluctuation Imaging,SOFI)以荧光波动统计分析为基础,获取超分辨图像。通过拍摄一段连续的图像序列,使用累积算法对荧光
目的 改良新生儿经颞浅静脉置入PICC测量置管长度的方法,并评价其效果.方法 选取北京市某三级甲等医院新生儿重症监护室实施经颞浅静脉置入PICC的171例新生儿作为研究对象,将
作为我国沥青路面早期病害形式之一,路面车辙一直是许多道路工作者关注的焦点,车辙严重影响了沥青路面的服务质量、行车安全和使用寿命,使得维护成本也大幅增加.本文分析了车
合成孔径雷达(SAR)不受时间、天气、地域等因素的影响,可以全天候工作,作用距离远,广泛应用于目标探测、识别和定位,战场侦察监视,自然灾害预报,资源勘探等军事和民用领域。S
《1978年海员培训、发证和值班标准国际公约》马尼拉修正案中,将对船舶驾驶员采用船舶操纵模拟器进行训练和考核的要求列入了船员业务培训的范围。目前,国内使用船舶操纵模拟
单晶光纤是一种新型的高性能光学材料,具有抗电磁干扰、耐腐蚀、传光性好等优点,常被用于晶纤激光器、晶纤倍频器、全息数据储存、红外激光传导以及高温探测等领域。本课题是以
近年来,我国检验检测机构快速发展,而实验室运行过程中的用水纯度是保证检测数据质量的基本条件,于是各地实验室纷纷投入资金建设中央纯水制备系统.本文通过分析某质检实验室
临空经济的快速发展,已经成为区域经济发展不可替代的趋势.像上个世纪的铁路运输在当时所发挥的作用一样,但是在具体的实施发展过程中都存在着许许多多困难和问题,而国家“一