最近几年，电磁工程分析对高精度的要求越来越高，低阶矢量有限元已不能满足要求，在这种前提下，众多学者提出了高阶矢量基，高阶基函数大致分为两种，一种是插值型基函数，每个基函数对应一个插值点，在相应的插值点处的值为1，在其它插值点处的值为0；另外一种是叠层型基函数，所谓叠层型基函数就是高阶基函数包含所有的低阶基函数，它可以根据求解问题的具体情况在同一区域采用不同阶的基函数，对网格加密而言，叠层矢量基函数是不错的选择。　　 本文基于四面体有限单元，采用高阶叠层矢量基函数分析腔体本征值问题，不连续波导S参数等。首先阐述了矢量有限元方法的求解步骤，包括几何模型区域离散，插值函数的选择，单元矩阵的计算，单元矩阵的合成和强加边界条件，有限元方程的求解，提出了矢量有限元编码中的几个关键问题，给出了高阶叠层矢量基函数的表达形式，最后通过若干数值算例验证了在相同计算精度指标下，采用高阶基可以使用尺寸更大的网格，降低未知量个数，提高计算效率；并且通过加密网格，高阶基能够更快地收敛到真解。