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采用真空蒸的方法发分别在玻璃及由化学水浴法制备的CdS多晶薄膜上制备了纯的及稀土Dy掺杂的CdTe薄膜。通过x射线衍射、原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、紫外-可见分光光度计、扫描电子显微镜等测试手段分别对薄膜晶体结构、表面形貌、化学成分及光电特性进行了测试。论文在这些测试手段基础上对不同热处理、氯化处理条件和稀土元素Dy掺杂下的CdTe薄膜特性进行了讨论,并探讨对CdS/CdTe异质结的影响。测试结果显示:使用真空蒸发法制备的CdTe多晶薄膜,最佳热处理条件为375℃、20min;热处理后