【摘 要】
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纳米技术的不断发展促使纳米电子器件从当初的原理和原型研究逐渐走向成熟,并逐渐开始应用在于生物医学电子和信息等领域然而直到目前为止,仍然没有有效的方法实现纳米电子器件
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纳米技术的不断发展促使纳米电子器件从当初的原理和原型研究逐渐走向成熟,并逐渐开始应用在于生物医学电子和信息等领域然而直到目前为止,仍然没有有效的方法实现纳米电子器件的精密操作与装配为了解决这一难题,本课题采用双探针纳米镊子对典型纳米电子器件—纳米开关进行三维纳米操作与装配这种制造方式结合了自上而下与自下而上两种微纳加工技术,实现纳米开关的制造,为纳米电子器件的制造提供了一种新的方法本文以实现纳米开关制造为目的,在微电极的设计,纳米开关的三维装配以及性能测试与分析三个方面展开了研究首先,分析了纳米线与微电极表面的感应电荷分布,在此基础上,针对两种不同结构的纳米开关,建模计算了纳米线与微电极之间的静电力同时,为了保证纳米开关的开关特性,对影响纳米开关性能的关键参数进行了分析由此,拟定了最终的设计方案,并制定了微电极的制造工艺流程然后,对纳米线操作过程中接触界面的交互作用机理进行了分析,并计算出了纳米镊子与纳米线间的交互作用力在此基础上,研究了基于原子力显微镜高精度力检测和扫描成像的双探针纳米级对准的方法,以及基于实时力反馈的三维操作和装配策略,实现了纳米线在微电极上的精密定位和操作,完成了纳米开关的三维装配最后,采用双探针对纳米开关的伏安特性进行了测试根据测试结果分析了纳米线的等效刚度谐振频率纳米开关的开启电压以及功耗等关键性能指标测试与分析的结果表明,纳米开关具有功耗低响应快以及泄露电流小等突出的优点,有望成为未来CMOS器件的有效替代
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