基于平面集成技术的光波导谐振腔器件具备高集成、低功耗、高灵敏等特点而广泛应用在光通信、光互联、光计算和光信息传输等方面。光学滤波器作为光通信网络网中一类重要的光子器件，在光网的高速传输、信道选择、增益谱均衡等方面具有重要作用，因此对光学滤波器的研究至关重要。本文围绕硅基微环谐振腔可调谐滤波器的核心部件——微环谐振腔展开深入讨论与研究。文章对SOI光波导的传输模态、单模传输条件、耦合原理以及多环级联微环腔的光场传输特性与光谱响应特性等进行了分析，建立了对微环谐振腔滤波器性能的完整表征体系。同时，对不同结构的微环谐振腔滤波器的工作原理做了的理论分析。根据单模传输条件，利用FDTD和Rsoft软件对光波导的尺寸进行仿真，并根据理论和仿真结果分别优化了不同种类微环谐振腔滤波器的结构参数。文章利用紫外光刻、电子束刻蚀、ICP深硅刻蚀、电子束蒸镀等MEMS工艺制备了基于SOI的小尺寸、高集成光波导多环级联谐振腔滤波器。实现了最小光波导线宽为450nm，耦合间距为100nm的多环级联光波导谐振腔滤波器的制造。最后，利用垂直光栅耦合法对单环、双环、十环滤波器响应谱线的-3dB带宽做了相应测试，实验验证并得到了不同级联环数与谐振谱线滚降垂直度的关系。并且设计制备了环形与跑道形两种级联谐振腔滤波器，研究了相应的透射谱特性。此外，根据光波导的热光效应和热膨胀效应，对半径R=5μm的十环级联滤波器在不同温度进行了测试，并对上述所测点进行线性拟合，灵敏度为130pm/℃，与理论值110pm/℃基本一致，该调谐可大大的增加滤波器的适应范围与滤波精度。