近年来,随着机械电子设备不断地向小型化、微型化方向发展,材料微、纳米级尺度的加工方法已经越来越引起人们的关注。微细电解加工,因其高效、低成本、可加工材料范围广、加工表面无应力、无热变形等优点,使其在微细制造领域有着很大的发展潜力。微细电解加工中,电解液更新是影响微细电解加工精度的重要因素。本文探索采用阴极周期往复运动的加工方式来更新加工区域电解液,构建了试验装置,以工程领域中大量应用的微小孔为研究对象,进行了基于阴极周期往复运动的微细电解加工工艺试验研究,完成了以下工作:1、基于已有的精密电解加工装置,引入具有高加速度性能的直线电机,构建了阴极周期往复运动的微细电解加工试验系统,利用虚拟仪器软件LabView设计了专用控制程序,实现了主轴进给运动、直线电机往复运动、加工电源的耦合控制。2、利用电化学原理进行了微细电极的制备。选择具有较高热传导性、良好导电性和较高硬度的钨作为制备电极的材料。通过对腐蚀过程中电流的控制,制备出直径均匀的微圆柱状电极。采用真空气相沉积的工艺方法,在微细圆柱电极表面制作出均匀、致密的绝缘膜,满足试验的要求。3、将侧壁绝缘的钨丝电极安装在直线电机推杆上,在不锈钢片(1Cr18Ni9Ti)上进行微孔电解加工试验研究。分析了阴极周期往复运动、阴极回退加速度、阴极回退高度、实际周期加工时间以及平均电流密度对微孔侧面加工间隙的影响。结果表明,阴极周期往复运动的加工方式比一般进给加工方式能够进一步减小侧面加工间隙,提高微孔加工的定域蚀除能力。