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该文借助X射线衍射、透射电镜原位观察、卢瑟福背散射及振动样品磁强计等方法对Fe/Y多层膜的固机反应进行了研究.结果表明:Fe/Y膜小于临界厚度为非晶态,大于临界厚度为晶态.非晶Fe/Y膜稳定性较差,300℃以上退火时发生晶化,晶化过程中仅生成单质Fe?Y,不出现Fe/Y金属间化合物.非晶Fe/Y膜经离子束混合后转变为晶态,晶态膜经离子束混合后转变为非晶态.这说明离子束混合具有双重作用.利用Miedema半径验公式对固相反应过程的热力学与动力学进行了计算,结果表明:Fe、Y晶态自由能低于初始非晶态提供了晶化的热力学驱动力,而形核势垒及临界晶核尺寸控制了相选择.通过计算Fe-Y二元系固溶体及非晶的混合焓得出:膜中Fe的平均成分在13-82%之间时,固溶体的混合焓△H大于非晶的混合焓△H,晶化时通过原子扩散发生初晶或共晶型反应.其他成分的非晶膜发生多晶型晶化反应.