近些年来,波分复用技术成为光通信领域中光纤信号传输方面的重要研究方向之一,而作为光纤信号传输系统核心器件的波分复用器则一直是研究的热点.该文从光学波导的结构入手,系统的分析了常见的波分复用器,并研究了常见波分复用器中的首选器件阵列波导光栅型波分复用器的原理和结构.结合设计要求和工艺水平,研究出一种以有机硅为原料,利用溶胶-凝胶技术与现代微电子制造工艺,制备阵列波导光栅型复用器的新方法.该文的主要工作包括:1.根据阵列波导光栅型波分复用器的原理和实际设计要求,建立一套关于阵列波导光栅型波分复用器的基本参数设计方法和版图设计方法,并利用光学系统模拟软件BeamPROP成功的对所设计的器件进行了性能模拟.2.介绍和分析了溶胶-凝胶法的原理,通过分析这种方法的优势,结合阵列波导光栅型波分复用器的结构和性能要求,确定了以溶胶-凝胶法作为制备阵列波导光栅型波分复用器中光波导包层薄膜的方法.3.经过对多种待选材料的综合比较和大量的试验,最终确定了以一种特定成份的有机硅作为制备阵列波导光栅型波分复用器中光波导包层薄膜的原料.4.利用溶胶-凝胶法,以这种有机硅为原料,研制出在硅衬底上制备光波导包层薄膜的方法和实验条件.结合现代微电子制造工艺,最终制备出5通道硅基阵列波导光栅型波分复用器,并获得良好的器件特性.