VO₂薄膜是一种功能材料，由于其独特的性质，在很多领域内具有潜在的应用价值。近年来VO₂研究有了飞速的发展，尤其是VO₂薄膜制备技术得到了进一步的发展，一些新的制备技术如有机溶胶—凝胶法、脉冲激光沉淀技术、MOCVD法都制备出了高性能的VO₂薄膜。但是这些制备技术都具有一些缺点，例如它们使用市场上不易购买、价格昂贵的金属钒、纯的V₂O₅和钒的醇盐作为原料，而后者甚至十分不稳定，迄今为止，还不见有研究者使用工业V₂O₅作为原料，研究制备性能优良的VO₂薄膜。在工业V₂O₅大量存在，价格便宜的情况下，例如攀钢年产工业V₂O₅6000吨，居国内第一位，且其用途局限于钢铁工业（约占85％）和化学工业（约占15％），因此探讨用攀钢工业V₂O₅产品制备用途广泛的VO₂薄膜材料，并研究其性能，就显得非常迫切和必要。 本论文采用无机溶胶—凝胶法制备VO₂薄膜，并对以下方面进行了研究。 （1）制备较优VO₂薄膜的工艺参数范围。 （2）本论文使用三组正交实验设计制备了几组薄膜，并研究了制备VO₂薄膜过程中真空热处理或H₂还原过程中，热处理温度、热处理时间、薄膜厚度对薄膜电阻突变数量级的影响。 （3）用几种分析手段（扫描电镜、TG和DSC分析、XRD分析）分别对V₂O₅薄膜、V₂O₅凝胶以及VO₂薄膜进行了研究。 （4）论文还对无机溶胶—凝胶法和其它几种较常使用的制备技术进行了较为全面的比较。 通过研究，制备出了相变性能较优的VO₂薄膜，其相变温度约为35℃，比纯VO₂薄膜的相变温度（68℃）低33℃，相变电阻突变数量级为2～3个，相变滞后温度为1～2℃，达到了国际上用纯含钒原料制备的同类薄膜电阻率突变水平。