铁磁/金属/铁磁三明治多层膜的应力阻抗效应研究

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【摘要】

：

非晶态铁磁合金薄膜在外加应力作用下,阻抗会发生很大的变化,表现出明显的应力阻抗效应,这种特性可以广泛应用于应力/应变传感器中,因此对非晶态铁磁合金薄膜应力阻抗效应的研究具有实际意义。由于“铁磁/金属/铁磁”三明治多层膜表现出了比单层铁磁薄膜更为明显的应力阻抗效应,为此,本文从理论和实验上对“铁磁/金属/铁磁”三明治结构多层膜的应力阻抗效应进行了系统研究。本文首先建立了“铁磁/金属/铁磁”三明治结构

【作者】

：

刘均东

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

非晶态铁磁薄膜三明治多层膜应力阻抗效应应力/应变传感器 FeCoSiB/Cu/FeCoSiB

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