【摘 要】
:
金属有机化学气相沉积技术(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD)是制备基于氮化物和ZnO等材料的光电子器件的一种新技术。MOCVD设备在进行工艺生长过程中涉
论文部分内容阅读
金属有机化学气相沉积技术(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD)是制备基于氮化物和ZnO等材料的光电子器件的一种新技术。MOCVD设备在进行工艺生长过程中涉及到气流、温度均匀性、薄膜生长速率和厚度等重要信息,每个参数都会影响到最终生长的半导体薄膜材料的性能。在线监测仪表作为MOCVD设备工艺过程的监测仪器,可通过反应腔喷淋孔探测石墨盘上衬底片的膜厚信息,给外延工程师提供有价值的参考。在线膜厚监测仪的引入对MOCVD设备圈与圈的均匀性,炉与炉的稳定性有重要的意义,论文主要研究内容如下:(1)分析了信号和噪声的特点,提出了几种从噪声背景中提取有用信号的方法,并着重分析了锁定放大器的原理。(2)根据设备反应腔的结构,在不影响内部流场和温度场的前提下,设计了在线监测仪的测试和安装方法,并设计在线膜厚监测仪的光学和机械结构。(3)在电路中实现了激光器恒功率控制和膜厚干涉信号的提取放大,在软件系统中设计了多激光器工作的控制程序,并通过EPI模式实现对多路采样的处理。(4)实现对多激光器的光纤合路,以635nm激光作为膜厚测试并进行调试指导,940nm激光可作为干涉测试,也可测试发射率,并使发射率计算精度达到0.4%。(5)通过理论仿真给出不同表面状态下的工艺生长模型,给出生长LED时各个阶段的膜厚干涉曲线与工艺过程的对应关系,对工艺进行指导,并实现膜厚测试的精度优于0.5%的目标。(6)通过UDP协议建立测试仪与上位机的数据传输,并完成上位机的功能需求。本文设计的基于MOCVD设备的在线监测仪表已实现了在线膜厚测试功能,设计方案在昭信半导体的自主研发的MOCVD设备上得到了验证。
其他文献
国债期货是指在的交易所事先确定买入和卖出价格,并在将来某个时间点进行钱券交割的国债衍生交易方式。国债期货属于金融期货的范畴,是一种高级的金融衍生工具。它的产生是在19
本文基于对版权制度诞生和形成过程的考察,分析版权制度在技术发展的过程中产生的变化,以及在互联网环境中面临的新挑战,总结概述立法中对于这些新挑战做出的有益尝试和经验
在全球化趋势日益加强的今天,跨文化交际已成为许多人日常活动中所遇到的问题。留学生的跨文化适应问题一直是跨文化交际研究的一个热点。随着教育政策的国际化,越来越多的中国
张晓琳教授对乳腺瘤样增生痰郁互结、冲任失调证的治疗有丰富的临床经验,在结合中医的整体观念和辨证施治思想的基础上,采取调摄冲任、化痰散结为治疗原则。从多方面、多角度
黄芩苷是中药黄芩的主要有效成分之一。许多含黄芩的中药制剂均采用黄芩苷作为质量控制指标,但其含量测定方法各异。故将检测黄芩苷的紫外分光光度法、薄层扫描法、高效液相
英语学习动机与学习者的成绩有着至为密切的关系。教师在教学过程中,运用体验式教学模式,不仅能够增强学生学习英语的兴趣,而且能够提高学生学习的持久力。通过实证调查发现,
<正> 一、资料与方法本组20例病人中,男16例,女4例、男女之比为4:1;年龄最大者54岁,最小者19岁。其临床表现均有发热,腰背部痛疼,腹部包块等。B超检查方法采用俯卧位或腹部垫
通过深入挖掘、系统整理、全面总结中医学中有关早泄的论述,揭示早泄"其本在肾,其制在肝,其源在心"的发病机制,以明确心在其发病过程中所处的"君主"地位;并就加味知柏地黄汤
在油井生产作业过程中,因作业不当或其他原因造成井下卡钻现象十分普遍。本文重点分析了几种常见的卡钻现象和解卡方法,根据实践经验分析了各种卡钻现象出现的原因及相应的解
景观形态的创作正处在传统园林形态向现代景观艺术形态的转变过程中,伴随着社会经济的发展,人们的环境意识在逐渐增强,景观艺术形态也随之发生着巨大的变化,同时,关于现代景观艺术