基于交换偏置调制的高频软磁薄膜

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近年来,电子产业发展迅速,磁性材料作为电子元器件的重要组成部分,具有极大的市场需求。在铁磁合金中,CoFe合金具有>20kGs的高饱和磁化强度,在获得高频微波磁导率方面具有其它软磁薄膜无法比拟的优势,但决定铁磁共振频率大小的单轴各向异性场一般仅为10-40Oe,很难同时实现较高的磁导率以及共振频率。而在反铁磁(AFM)/铁磁(FM)软磁薄膜体系结构中,借助AFM/FM产生的交换偏置场可大幅提升CoFe基软磁薄膜的各向异性场,可在利用它们高饱和磁化强度的条件下将薄膜的应用频段提升至微波段甚至更高。因此
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