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该文介绍了抗振干涉技术的发展情况,比较了几种自适应抗振方法,结合实验室条件及振动对干涉条纹的影响,确定了机电反馈式自适应抗振方案.该文重点描述了移相器的工作机理,详细说明了用光电相结合的方法对移相器进行在线频响测试、伸长量测试、容性测试等.根据测试的结果,研制了能满足抗振干涉仪要求的PZT驱动电源;搭建了移相抗振系统,实现了自适应抗振干涉测量.