随着全球信息科技的不断进步和发展,很多传统单一的功能性材料已经不能满足社会各个行业的需求,人们不断地探索性能优异、适用范围广的新型绿色多功能材料,期望可以通过科学研究进而取代这些落后的传统型材料。BiFeO₃（BFO）薄膜因其自身特有的性质在传感器及光伏电池等新型多功能智能器件中的应用潜力,多年来一直被广泛研究。由于BFO材料中存在的氧空位以及其他缺陷、Fe³⁺离子变价等导致漏电流过大,使得进一步应用受到阻碍,而改进制备工艺和掺杂改性是改善BFO铁电材料的重要方法。本论文用溶胶-凝胶法,制备出了不同Zn元素掺量以及不同制备工艺的BFO基铁电材料,通过对BFO基铁电材料的研究得出以下三个结论:1、B位的Zn元素掺杂有利于BFZO薄膜性能的提高。当Zn掺量为1mol%时,BFZO薄膜的铁电性能较好,晶粒发育较好,Fe²⁺和氧空位的浓度较低,漏电流密度较小,此时导电机制为空间电荷限制电流传导机制。表明适量的Zn掺杂有利于BFZO薄膜晶粒的发育,降低氧空位的浓度,减小薄膜的漏电流密度,从而使薄膜的性能得到提高。2、O₂退火气氛有利于BFZO薄膜性能的提高。BFZO薄膜在O₂退火气氛下结晶度高,晶粒发育较好,Fe²⁺和氧空位的浓度较低,在O₂退火气氛下铁电和介电性能较好,漏电流密度较低,此时导电机制为F-N隧穿效应机制。从体效应的角度建立了薄膜的老化模型,深入探索了退火气氛对样品的老化的影响,表明在O₂退火气氛下有利于BFZO薄膜晶粒的发育,降低氧空位的浓度,有利于薄膜性能的提高。3、制备了不同烧结气氛的0.5BFO-0.5CSBT陶瓷样品,相当于在CSBT类钙钛矿层中插入BFO构成了复合的6层BLFS结构,在O₂烧结气氛下的陶瓷样品Ti³⁺的相对含量较小,氧空位浓度较小。高温下不同烧结气氛的陶瓷样品的电导激活能均接近于氧空位二级电离的激活能,不论是在高温还是低温下,O₂烧结气氛的陶瓷样品的电导激活能较大,氧空位等缺陷较少。在高温下,陶瓷样品的弛豫现象与氧空位的浓度相关,O₂气氛烧结样品的弛豫激活能较大为0.733eV,氧空位浓度较小。