【摘 要】
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折射率作为一项与液体浓度成分以及光学性能密切相关的物理量,其精确测量在多种领域有着重要意义。然而,液体的折射率并不是一个固定的常数,其同时受到温度等多方面参数的影响。在实际折射率测量过程中,温度也成为实验误差的主要来源之一,而双参数传感器是解决这个问题的最好办法之一。近年来,已经有很多种双参数传感器被提出,而其中基于干涉原理的更是主流存在,主要在于多模干涉(multi-mode interfere
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折射率作为一项与液体浓度成分以及光学性能密切相关的物理量,其精确测量在多种领域有着重要意义。然而,液体的折射率并不是一个固定的常数,其同时受到温度等多方面参数的影响。在实际折射率测量过程中,温度也成为实验误差的主要来源之一,而双参数传感器是解决这个问题的最好办法之一。近年来,已经有很多种双参数传感器被提出,而其中基于干涉原理的更是主流存在,主要在于多模干涉(multi-mode interference,MMI)传感器敏感参数多,易制作等。然而,由于干涉本身的限制,其在折射率测量方面存在着测量范围小,灵敏度低等缺点。在这方面,表面等离子体共振(surface plasmon resonance,SPR)光纤传感器作为一种具有高折射率灵敏度的传感器具有很多优势,而我们所期望看到的就是结合MMI与SPR传感器的优点,设计一种新型的传感器。本文针对这个问题作了以下工作:1.设计实现了基于SPR-MMI组合式光纤传感器,通过仿真给出了金膜最佳厚度50nm以及选择传感区域的合适长度为12mm左右。2.给出了单模-多模-单模(SMS)光纤结构的制作方法,详细介绍了利用离子溅射仪与三维形貌分析仪对光纤进行一定厚度镀金膜的工艺,并成功制作了SPR-MMI组合式光纤传感器。3.推导出了SPR-MMI组合式光纤传感器的传感矩阵,给出了传感矩阵的四个系数的测量方法和结果,包括对SPR谐振峰的温度与折射率灵敏度的测量,对SMS干涉峰的温度与折射率灵敏度的测量,得出其最大折射率灵敏度为-2061.6nm/RIU,温度灵敏度为37.9pm/℃,之后在加热乙醇中验证了传感矩阵的准确性,给出了实验与理论结果的对比。
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