【摘 要】
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本论文研究了不同维度下纳米结构（零维、一维、二维）器件对气敏响应性能的影响,在研究工作中分别对薄膜型金属氧化物三氧化钨纳米片器件和单根,交叉金属氧化物二氧化锡纳米线器件进行气敏特性的测量。对薄膜型三氧化钨纳米片器件在不同老化天数下进行5 ppm H2S气敏性能的测试,灵敏度达到8,同一批器件的重复性和稳定性良好。气体敏感响应时间达5.5 s左右,气体敏感恢复时间24 s左右。同一批器件进行累计浓度
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本论文研究了不同维度下纳米结构（零维、一维、二维）器件对气敏响应性能的影响,在研究工作中分别对薄膜型金属氧化物三氧化钨纳米片器件和单根,交叉金属氧化物二氧化锡纳米线器件进行气敏特性的测量。对薄膜型三氧化钨纳米片器件在不同老化天数下进行5 ppm H2S气敏性能的测试,灵敏度达到8,同一批器件的重复性和稳定性良好。气体敏感响应时间达5.5 s左右,气体敏感恢复时间24 s左右。同一批器件进行累计浓度的测试中,更是表现出优越的线性关系R2=0.98。一维单纳米线结构具有较大的比表面积、较高的吸附活性、量子尺寸效应等优点,其电学和光学性能也优于传统的薄膜型材料。本实验使用水热合成法,合成了具有宽带隙的N型半导体SnO2纳米线材料,其在300 k环境下禁带宽度为3.6 e V。使用多步湿法加干法转移将SnO2纳米线交叉结构转移至衬底上,并结合现代微加工工艺技术制作测量电极。成功制作出具有单根和交叉结构的纳米线器件,通过对伏安特性曲线的测量发现,随温度升高线性逐渐变好,单根纳米线器件表现出明显的肖特基二极管特性,对电阻储存器的研究开发了思路,对其气敏性能研究中,对1 ppm H2S具有气体识别能力,响应时间和恢复时间分别是5 s和30 s。交叉结二氧化锡纳米线器件具备检测气体的能力。
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