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采用周期极化铌酸锂（PPLN）晶体实现准相位匹配（QPM）是集成光学领域的一个研究热点。不仅如此，周期极化的绝缘衬底铌酸锂（PP-LNOI）波导能够将铌酸锂对THz波的吸收降到最低，在高效稳定THz辐射源的研究和应用方面具有巨大的发展前景。本文成功制备了具有抗光折变效应的近化学计量比Ti:Mg:PPLN条波导，并实现了波长532nm的二次谐波产生；以硅和LNOI为基底制备了亚微米级的氧化钽脊形波导结构；最后，设计了基于PPLN参量放大器和PP-LNOI波导的THz波产生系统。为进一步制作出高功率，高转换效率，可调谐的，同时具有抗光折变能力的基于PPLN的THz辐射源提供了依据。 本研究工作的具体内容包括： (1)在Z切铌酸锂基片的+Z面先后进行Ti预扩散、MgO预扩散、富锂气相输运平衡（VTE）等工艺制备近化学计量比（NS）Ti:Mg:LN波导。接着，对样品进行外加电场极化，得到NS Ti:Mg:PPLN条波导。实验表明，本实验工作制备的NS Ti:Mg:PPLN条波导在1064nm向532nm波长倍频过程中达到了101％W-1的波长转换效率，且具有良好的抗光折变性能。通过对腐蚀后波导区域反转畴结构的观察，分析了影响波导性能的主要因素，并改进了极化系统。 (2)通过在硅基二氧化硅表面溅射Ta膜、高温退火的方法制备了硅基氧化钽脊形光波导。利用光纤透镜对脊形波导进行端面耦合，结果显示该波导在1.55μm波段能够单模传输，传输损耗为1.2dB/cm。结合X射线衍射图谱探讨了波导损耗的影响因素。还在LNOI基底上成功制备了氧化钽-LNOI脊形结构。 (3)根据准相位匹配技术基本原理，完成了利用1064nm泵浦光产生1.5μm可调谐输出的PPLN光参量放大器的周期设计；设计了使用波长1.55μm的信号光，产生频率在2.53THz～4.47THz的可调谐THz波输出对应的PPLN极化周期，其范围在22.24～33.91μm；设计了基于PPLN参量放大器和PP-LNOI波导的 THz波产生系统。 本论文的创新点包括：1）首次利用Ti/MgO预扩散、富锂VTE和外加电场极化的方式制备出NS Ti:Mg:PPLN条波导，使波导在常温下具有抗光折变能力，消除了Ti扩散、MgO掺杂两者对制备周期反转畴结构的不利影响。2）在LNOI晶片上制备了脊形波导结构，并设计了用于THz波产生的PP-LNOI复合波导结构，为发展基于PPLN的THz辐射源开拓了新的途径。