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近年来,随着电光源、半导体、光通信、军工、冶金、建材、化学、机械、电力、环保等领域的快速发展,石英玻璃管被广泛应用于这些领域,所以对玻璃管的光整加工技术提出了较高的要求,尤其在半导体、光通信以及航空领域,对石英玻璃管内表面的质量要求更高。一般采用机械化学抛光方法抛光石英玻璃管内表面,导致抛光效率较低,而且抛光时采用的氧化铈颗粒会污染环境。磁粒研磨技术作为一种新兴的研磨技术,与传统的研磨方法相比具有自适应强、自锐性强、温升小及无需进行工具补偿等优点,现阶段已经较好的应用于复杂曲面、平面、内外圆表面的加工。但是传统的磁粒研磨技术研磨玻璃管内表面时,磁感应强度小,研磨压力降低,导致研磨质量与研磨效率较差。在玻璃管内部添加径向充磁辅助磁极可以提高磁感应强度,提高“磁粒刷”对玻璃管内壁的研磨压力,从而使研磨效率提高。但是添加辅助磁极后,在辅助磁极的压附下,“磁粒刷”的翻滚与更新下降,研磨后微观表面极易出现规律性划痕。针对以上的问题,本文以JGS2石英玻璃管(φ15×200 mm)为研究对象,进行了多组试验。首先提出了超声磁粒研磨技术研磨石英玻璃管内表面,即在玻璃管内部的辅助磁极上添加轴向振动促进研磨粒子的翻滚。针对不同粒径的研磨粒子,在超声磁粒研磨装置上分别进行实验,分析、对比了研磨石英玻璃管内表面后的表面粗糙度值与表面形貌的变化,得出了研磨石英玻璃管内表面效果最好的研磨粒子。然后针对目前的化学机械抛光方法,提出了两个阶段试验研磨石英玻璃管的方法。第一阶段研磨时间为40 min,采用超声磁粒复合研磨提高研磨效率,通过响应面法对主轴转速、振动频率、磨粒粒径的交互作用,得出最优的工艺组合;第二阶段研磨时间为5 min,采用超声振动复合抛光提高抛光质量。通过试验分析了抛光玻璃管后的表面粗糙度值与微观形貌的变化。最后对比了传统磁粒研磨、添加辅助磁极、添加辅助磁极链三种研磨方式对石英玻璃管内表面粗糙度值、微观形貌的影响。利用Ansoft Maxwell软件对三种方式的磁感应强度进行了对比及分析,同时利用Workbench软件对三种方法作用在内壁的法向压力进行了比较、分析。通过试验对模拟的结果进行了验证,并分析了表面粗糙度值与微观形貌的变化。