相比于传统的气体检测器件,SAW器件具有精度高、体积小、功耗低、适合远距离传输等特点。影响声表面波器件检测性能的主要因素有压电材料的种类、切向及波传播方向的选取,叉指换能器的设计,以及敏感膜材料的确定等,本文主要从以上三个方面对SAW器件展开研究。通过对压电材料的SAW波速和机电耦合系数的分析,确定压电材料的种类和切向。本文利用有限元仿真软件COMSOL Multiphysics 5.0对该材料中SAW传播的过程进行了正反模态的研究,给出最后的仿真结果。对叉指换能器的研究中,给出了影响叉指换能器性能的主要因素,讨论了电极二次效应的影响,设计了一种性能较好的叉指换能器,并给出相应的有限元仿真模型。在铌酸锂压电晶体表面设计制作了线宽为5μm和10μm的SAW器件,给出具体的工艺过程。并利用磁控溅射技术在SAW器件的敏感区形成氧化锌气体敏感膜,并用X射线衍射仪和扫描电镜对所制备的敏感膜进行了测试,并建立了两种类型的SAW气体检测器件的有限元仿真模型,最后成功制备了延迟线型SAW二氧化氮气体检测器件。