BGA封装内18um铜线键合工艺研究

来源 :复旦大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:flypig2
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
由于黄金价格的不断上涨,铜线工艺作为一项替代金线工艺的技术在近些年内迅速发展普及,铜线甚至有比金线更好的导电性。但是在实际工艺替代中,铜,线由于硬度高,易于氧化等特性,需要针对铜线的防氧化措施,工艺中也必须进行参数调整。BGA封装具有体积小,引脚间距小的特点;并且BGA封装内的芯片向高密度,超小间距焊盘发展,18um的金线键合已经在逐渐被使用,所以,开发代替18um金线的18um铜线键合工艺是大势所趋的。首先,作者介绍了BGA封装工艺的流程,其中在着重介绍了打线键合工艺的难点。文章随后介绍了此次试验的环境要求,材料清单,设备清单,包括铜线工艺的要求,打线机的改造,劈刀的选择等。接着,作者使用DOE的试验方法提出了一些实验方案,先是经验性的选取一些参数做评估,找出影响最大的几个,设计出一组实验数据,根据行业通用的测试标准,对每组参数都进行相应的检测,把结果输入JMP软件并且分析出最优结果,验证结果并且得出参数范围,最后对参数进行验证,尤其着重于大焊盘时不容易出现的铝层破裂现象。最后,做完工艺优化后,进行的是有针对性的可靠性测试。根据芯片的用途,进行的是SQB的可靠性测试,包含了Precon, TC, THB, HAST几项测试。实验整个过程中,键合性能通过了测试,新工艺的验证获得了成功。
其他文献
中国加入了WTO,中国民航不能再游离于国际大环境之外。但在世界航空运输行业掀起低成本革命的同时,我国至今却还没有真正意义的低成本航空公司诞生,低成本航空运营在中国具备
<正>2012年,全球氧化铝价格低位运行;全球氧化铝市场整体呈过剩状态。2013年,全球氧化铝市场供应压力犹存,氧化铝价格难以明显好转;国内氧化铝过剩量小于2012年,国内非中铝氧
桂枝汤为《伤寒论》中群方之冠。班秀文教授认为该方配伍严谨,选药精当,具有调和营卫、化气行血、燮理阴阳之功,临证若能师其意而悟其法,则化裁治疗各科疾患,有异曲同功之妙
我们从1998年9月开始承担新型止泻药———盐酸洛哌丁胺(LP)颗粒剂治疗急慢性腹泻的临床验证工作,至1998年12月止,共完成治疗急性腹泻95例。现将此次观察验证中所获得的LP颗粒剂治疗急慢性腹泻的临
近年来,激光二极管泵浦的全固态激光器(DPL)以其效率高、体积小、重量轻、寿命长、稳定性好等特点,成为当今固体激光器件一个发展热点。采用端面泵浦的DPL,有效地将泵浦光耦合进
随着多处理器芯片(CMPs: Chip multi-processors)的出现,传统基于总线的SoC(System-on-chip)已越来越不能满足系统对通信带宽和可扩展性的需求,片上网络(Noc: Network-on-chip)
近年来,我总队在宁夏和内蒙地区进行了多项石灰岩矿的地质勘查项目,在项目实施中,根据地层产状和现场自然地形合理设计钻孔设计方位和倾角,灵活利用探矿工程手段,在地勘项目
为了进一步提升国家授时中心研制的多通道数字化频率稳定度分析系统(DFSA)的测量能力,研究了偏差频率产生方法,研制了偏差频率产生器原理样机,并分析了样机的性能。论文的主要工