【摘 要】
：
半导体工业与微纳米测量技术息息相关，精确可靠的几何尺寸测量是集成电路制造业飞速发展的保障，同时半导体工艺推动着纳米尺度测量技术不断进步。片上几何尺寸及形状的偏差严重影响了集成电路芯片电气性能，关键尺寸（Critical dimension）作为其中重要的技术参数，其测量和控制是今后需要解决的技术难点。传统检测手段均不能对关键尺寸实现真三维形貌的表征，本文提出双探针原子力显微镜（AFM）对顶测量方案
论文部分内容阅读
半导体工业与微纳米测量技术息息相关，精确可靠的几何尺寸测量是集成电路制造业飞速发展的保障，同时半导体工艺推动着纳米尺度测量技术不断进步。片上几何尺寸及形状的偏差严重影响了集成电路芯片电气性能，关键尺寸（Critical dimension）作为其中重要的技术参数，其测量和控制是今后需要解决的技术难点。传统检测手段均不能对关键尺寸实现真三维形貌的表征，本文提出双探针原子力显微镜（AFM）对顶测量方案，采用音叉探针作为力传感器，以单测头为基础，搭建了双探针测量系统，并通过实验验证了双探针对顶测量方案的可
其他文献
步进电机是一种将电脉冲信号转换为机械角位移的数字控制电机,具有响应速度快、定位精度高和无误差积累等优点。随着步进电机驱动技术和数字控制技术的发展,步进电机在火控系统、雷达制导、红外扫描、激光探测等军事领域广泛应用。本文以二维平台为载体,设计某步进电机应用系统,根据步进电机的矩频特性曲线,研究其“快速重复启停”特性,能够提高平台的响应灵敏度,减少武器系统反应时间,对提高己方生存能力、有效摧毁来袭目标
基于Mg/PTFE的高辐射强度和高燃烧温度的特点,采用红磷/氧化铜等超细易燃高热剂作为Mg/PTFE燃烧介质的界面间填充材料,以保证其既具有高红外辐射强度,同时在成膜后又能低温持续稳定燃烧。首先通过DTA实验测定初选配方的点火温度,分析各组分的引入对Mg/PTFE诱饵配方的影响,最终选择红磷和氧化铜作为Mg/PTFE基诱饵配方的功能添加剂。为保证薄膜型诱饵材料具有一定的弹性和拉伸强度,以及在燃爆分
本文主要研究了含金属芯压电纤维（MPF）作为一种新型的压电功能元件在结构健康监测中的应用，基于MPF花型结构的方向性传感特性，利用小波变换进行分析，建立了一套冲击载荷监测系统。
密密匝匝的叶幕,星星点点的洋红——别具一格的留红草,是许多花友渴望尝试的藤本花卉。看过下文介绍的种植要点,您也不妨一试身手。5月是春播的黄金季节,身为花迷的我,总会在
近年来，变频涡旋压缩机已经被广泛应用于空调、制冷、空气压缩、发动机增压及增压泵等领域，其工作性能的好坏直接关系到系统的工作运行质量，而振动参数是衡量变频涡旋压缩机性能的重要指标，因此对振动信号的分析处理是整个压缩机测试系统中非常重要的一个环节。由于变频涡旋压缩机振动小，噪声低，工作频率随外界工况的不同而变化，再加上各种噪声的干扰，使得变频涡旋压缩机振动信号的分析处理要比一般旋转机械的复杂许多，而传
朵云书院身处广富林徽派古建筑群中的朵云书院,是一座整体搬迁而来、保存完好的“明代高房”建筑.总占地面积1 600多m2.分上下2层,室内外景色相融,古意盎然.内设阅读、文创、
随着现代经济和工业技术的快速发展，自动化程度越来越高，各种电力装置和设备的应用，使得电力系统网络中的非线性负载的数量持续增加，这也使得电网中危害用电安全的谐波分量不断累积下来。因此为了更好的维护电力系统的安全和稳定运行，有必要对谐波问题进行深入的研究，消除和减少谐波对用户的影响，把谐波影响降低到允许范围内。首先，本文对国内外现有的谐波检测方法进行了详细的优缺点对比和分析后，选取本文的优化方案是建立
随着光谱成像技术的发展,打印系统光谱特征化研究也逐渐成为相关领域的研究重点。重构目标色的光谱反射比以复现该颜色的方法具有诸多优点,如预测精度高、可避免同色异谱现象